デジタルマスフロー

  • デジタル型マスフローコントローラ／メータ

CSシリーズ、デジタル型汎用マスフローは、高精度、高速応答のハイグレード製品です。マルチスケール、アラーム、オートゼロ機能などの基本仕様を搭載し、安定したパフォーマンスを提供いたします。一般工業市場向けのエラストマータイプに加え、メタルシールタイプでは表面粗度5、10、25μインチもライン、さらに圧力センサー付き最先端仕様も有しております。

 

◆エラストマーシール
モデル　       流量レンジ　 　    表面粗度  /  タイプ
CS200A　　0.005-50 slm　     25Ra  /  主力汎用型
CS230A　　50-300 slm　            -        /  中流量小型
◆メタルシール
モデル　           流量レンジ　 　 表面粗度 / タイプ
CS200C　　     0.002-30 slm　 10Ra  /  小流量
CS200D　　     0.002-30 slm    25Ra  /  小流量
CS310/320C    0.001-30 slm    5 or 25Ra/極小流量,PIT
CS310/320D    0.001-30 slm    5 or 25Ra/極小流量,PIT
CS200H           0.002-30 slm    10Ra  /  高温120℃
Model: CS200A - エラストマーシール
  • 流量レンジ: 0.005 - 50 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)　*S.P.: セットポイント
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • 応答速度: ≦ 1 sec
  • バルブタイプ: ノーマルクローズまたはノーマルオープン(30SLM以下）
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • リークレート: 1×10-9 atm•cc / sec He
  • 標準材質（接ガス部）: バイトン
  • 表面粗度: 25 Ra (μインチ)
  • 使用温度範囲: 5～45℃
  • I/O: 0 - 5 VDC, 4 - 20mA, 0 - 20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
  • 電源仕様: ±8～±16 VDC or +14～+28 VDC
  • ケーブル接続: アナログ(9ピン オス D-sub もしくは 15ピン オス), D-sub, DeviceNet™, ProfiBus®
  • 継手: コンプレッション継手 3㎜, 6㎜, 10㎜, 1/8インチ, 1/4インチ, 3/8インチ

 

　
Model: CS230A - エラストマーシール
  • 流量レンジ: 50 - 300 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)　*S.P.: セットポイント
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • 応答速度: ≤2sec
  • バルブタイプ: ノーマルクローズまたはノーマルオープン
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • リークレート: 1×10-9 atm•cc / sec He
  • 標準材質（接ガス部）: バイトン
  • 使用温度範囲: 5～45℃
  • I/O: 0 - 5 VDC, 4 - 20mA, 0 - 20mA, RS485, DeviceNet
  • 電源仕様: ±8～±16 VDC or +14～+28 VDC
  • ケーブル接続: アナログ(9ピン オス D-sub もしくは 15ピン オス), D-sub, DeviceNet™, ProfiBus®
  • 継手: VCR相当 1/2インチ, コンプレッション継手 6㎜, 8㎜, 10㎜, 1/4インチ, 3/8インチ, 1/2インチ
　
Model: CS200C - メタルシール/エレクトロポリッシュ
  • 流量レンジ: 0.002 - 30 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)　*S.P.: セットポイント
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • 応答速度: ≤ 0.8 sec (SEMI E17-0600)
  • バルブタイプ: ノーマルクローズまたはノーマルオープン
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • リークレート: 1×10-10 atm•cc / sec He
  • 標準材質（接ガス部）: メタル
  • 表面粗度: 10 Ra(μインチ)
  • 使用温度範囲: 0～50℃
  • I/O: 0 - 5 VDC, 4 - 20mA, 0 - 20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
  • 電源仕様: ±8～±16 VDC or +14～+28 VDC
  • ケーブル接続: アナログ(9ピン オス D-sub もしくは 15ピン オス), D-sub, DeviceNet™, ProfiBus®
  • 継手: VCR相当 1/4インチ, IGS: W-seal™ もしくは C-seal™, コンプレッション継手 3㎜, 6㎜, 1/4インチ

 

　
Model: CS200D - メタルシール
  • 流量レンジ: 0.002 - 30 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)　*S.P.: セットポイント
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • 応答速度: ≤ 0.8 sec (SEMI E17-0600)
  • バルブタイプ: ノーマルクローズまたはノーマルオープン
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • リークレート: 1×10-10 atm•cc / sec He
  • 標準材質（接ガス部）: メタル
  • 表面粗度: 25 Ra(μインチ)
  • 使用温度範囲: 0～50℃
  • I/O: 0 - 5 VDC, 4 - 20mA, 0 - 20mA, RS485, DeviceNet, Profibus
  • 電源仕様: ±8～±16 VDC or +14～+28 VDC
  • ケーブル接続: アナログ(9ピン オス D-sub もしくは 15ピン オス), D-sub, DeviceNet™, ProfiBus®
  • 継手: VCR相当 1/4インチ, IGS: W-seal™ もしくは C-seal™, コンプレッション継手 3㎜, 6㎜, 1/4インチ

 

　
Model: CS310C/CS320C - (CS300シリーズ)メタルシール圧力センサー搭載
  • 流量レンジ: 0.001～30 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)　*S.P.: セットポイント
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • 応答速度: ≤ 0.8 sec (SEMI E17-0600)
  • バルブタイプ: ノーマルクローズまたはノーマルオープン
  • 最大使用圧力(G): 3.5 MPa
  • リークレート: 1×10-11 atm•cc / sec He
  • 標準材質（接ガス部）: メタル
  • 表面粗度: 5Ra (μインチ)
  • 使用温度範囲: 0～50℃
  • I/O: 0 - 5 VDC, RS485, DeviceNet
  • 電源仕様: ±8～±16 VDC or +14～+28 VDC
  • ケーブル接続: アナログ(9ピン オス D-sub もしくは 15ピン オス), D-sub, DeviceNet™
  • 継手: VCR相当 1/4インチ, IGS: W-seal™ もしくは C-seal™, 310C: 1.125インチ (VCR相当 1/4インチ, W-seal™もしくは C-seal™), 320C: 1.5インチ (W-seal™ もしくは C-seal™)

＊ PIT: Pressure Insensitive Technology (圧力センサー搭載/非搭載 選択可)

　
Model: CS310D/CS320D - (CS300シリーズ)メタルシール圧力センサー搭載
  • 流量レンジ: 0.001 - 30 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)　*S.P.: セットポイント
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • 応答速度: ≤ 0.8 sec (SEMI E17-0600)
  • バルブタイプ: ノーマルクローズまたはノーマルオープン
  • 最大使用圧力(G): 3.5 MPa
  • リークレート: 1×10-11 atm•cc / sec He
  • 標準材質（接ガス部）: メタル
  • 表面粗度: 25Ra (μインチ)
  • 使用温度範囲: 0～50℃
  • I/O: 0 - 5 VDC, RS485, DeviceNet
  • 電源仕様: ±8～±16 VDC or +14～+28 VDC
  • ケーブル接続: アナログ(9ピン オス D-sub もしくは 15ピン オス), D-sub, DeviceNet™
  • 継手: VCR相当 1/4インチ, IGS: W-seal™ もしくは C-seal™, 310D: 1.125インチ (VCR相当 1/4インチ, W-seal™もしくは C-seal™), 320D: 1.5インチ (W-seal™ もしくは C-seal™)

＊ PIT: Pressure Insensitive Technology (圧力センサー搭載/非搭載 選択可) 

　
Model: CS200H - 高温120℃対応
  • 流量レンジ: 0.002 - 30 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)　*S.P.: セットポイント
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • 応答速度: ≤ 1 sec
  • バルブタイプ: ノーマルクローズ
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • リークレート: 1×10-11 atm•cc / sec He
  • 標準材質（接ガス部）: メタル
  • 表面粗度: 10Ra (μインチ)
  • 使用温度範囲: MFC/MFM: 90～120℃, エレクトロニクスボックス: 0～50℃
  • I/O: 0 - 5 VDC, 4 - 20mA, 0 - 20mA, RS485, DeviceNet
  • 電源仕様: ±8～±16 VDC or +14～+28 VDC
  • ケーブル接続: アナログ(9ピン オス D-sub もしくは 15ピン オス D-sub), DeviceNet™
  • 継手: VCR相当 1/4インチ, IGS: W-seal™ もしくは C-seal™, コンプレッション継手 6㎜, 1/4インチ