アナログマスフロー

  • アナログ型マスフローコントローラ／メータ

D07シリーズ、従来技術のアナログ型汎用マスフローの利点は、1)長い経験の安定性、2)低価格での提供が可能、3)アナログならではの保守点検の簡易性などがあげられます。（デジタル通信用ツールを必要とせず、基板に付属するトリマを直接調整することで、フィールドでの保守、点検を簡易に行うことができる）現在、多くの製品がデジタル型に移行する中で、Sevenstar社では生産を継続し、サポートを続けております。（高圧10MPa(G)、大流量2000SLM対応あり）また、自社製指示計付電源との組み合わせることで、より価格メリットを出すことが可能です。

 

◆小流量汎用型タイプ
モデル　     流量レンジ　  　 電源  /  I/O信号
D07-19C    0.005-30 slm　  ±15VDC / 0-5VDC
D07-19F    0.005-30 slm　  24VDC / 0-20mA,1-5VDC
◆中流量小型タイプ
モデル　　 流量レンジ　  　   電源  /  I/O信号
D07-23F 　20-250 slm　     24VDC / 0-20mA,1-5VDC
D07-9E 　  20-250 slm  　   ±15VDC / 0-5VDC
◆大流量タイプ
モデル　　   流量レンジ　　    電源  /  I/O信号
D07-60B  　300-2000 slm　  24VDC / 0-20mA,1-5VDC
D07-60G     300-2000 slm     ±15VDC / 0-5VDC
◆高圧タイプ
モデル　　  流量レンジ　　    電源  /  I/O信号
D07-11C 　0.005-30 slm　   ±15VDC / 0-5VDC
BLANK
　
Model: D07-19C - 小流量汎用タイプ
  • 流量レンジ: 0.005 - 30 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • バルブタイプ: ノーマルクローズ
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa (マスフローメータは10MPa)
  • 標準材質（接ガス部）: バイトン
  • 使用温度範囲: 5～45℃
  • I/O: 0 - 5 VDC
  • 電源仕様: ±15 VDC
  • 継手: VCR相当 1/4インチ, コンプレッション 3㎜, 6㎜, 10㎜, 1/8インチ, 1/4インチ, 3/8インチ

＊ D07-19Fの場合、下記選択可

I/O: 0-20 mA or 1-5 VDC   電源仕様: 24 VDC

　
Model: D07-23F - 中流量小型タイプ
  • 流量レンジ: 20 - 250 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±2% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
  • リニアリティ(F.S.): ±1% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • バルブタイプ: ノーマルクローズ
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • 標準材質（接ガス部）: バイトン
  • 使用温度範囲: 5～45℃
  • I/O: 0-20mA or 1-5 VDC
  • 電源仕様: 24 VDC
  • ケーブル接続: 15ピン オス D-sub
  • 継手: VCR相当 1/2インチ, コンプレッション 6㎜, 8㎜, 10㎜, 1/4インチ, 3/8インチ, 1/2インチ

＊ D07-9Eの場合、下記選択可

I/O: 0-5 VDC   電源仕様: ±15 VDC

＊ 写真はバルブなしのメータ仕様

 

　
Model: D07-60B - 大流量タイプ
  • 流量レンジ: 300 - 2000 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±2% F.S.
  • リニアリティ(F.S.): ±1% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • バルブタイプ: ノーマルクローズ
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • 標準材質（接ガス部）: バイトン
  • 使用温度範囲: 5～45℃
  • I/O: 0 - 5 VDC
  • 電源仕様: ±15VDC
  • ケーブル接続: 15ピン オス D-sub
  • 継手: コンプレッション 10㎜, 1/2インチ

＊ 写真はバルブなしのメータ仕様 (D07-60BM)

　
Model: D07-60G - 大流量タイプ
  • 流量レンジ: 300 - 2000 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±2% F.S.
  • リニアリティ(F.S.): ±1% F.S.
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • バルブタイプ: ノーマルクローズ
  • 最大使用圧力(G): 3 MPa
  • 標準材質（接ガス部）: バイトン
  • 使用温度範囲: 5～45℃
  • I/O: 0-20 mA or 1-5 VDC
  • 電源仕様: 24 VDC
  • ケーブル接続: 15ピン オス D-sub
  • 継手: コンプレッション 10㎜, 1/2インチ

＊ 写真はバルブなしのメータ仕様 (D07-60BM)

 

　
Model: D07-11C - 高圧タイプ
  • 流量レンジ: 5 sccm - 30 slm
  • 不確かさ(F.S.): ±1% F.S. (20, 30 slm: ±2% F.S.)
  • リニアリティ(F.S.): ±0.5% F.S. (20, 30 slm: ±2% F.S.)
  • 繰返性(F.S.): ±0.2% F.S.
  • バルブタイプ: ノーマルクローズ
  • 最大使用圧力(G): 10 MPa
  • 標準材質（接ガス部）: バイトン
  • 使用温度範囲: 5～45℃
  • I/O: ±15VDC
  • 電源仕様:  0-5VDC
  • ケーブル接続: 15ピン オス D-sub
  • 継手: VCR相当 1/4インチ, コンプレッション 3㎜, 6㎜, 10㎜, 1/8インチ, 1/4インチ, 3/8インチ